E08300 - SEMI E83 - Specification for PGV Mechanical Docking Flange Revision:SEMI E83-1106 - Superseded 데이터 수집 계획의 결과로 생성된

데이터 수집 계획의 결과로 생성된 데이터의 포맷 또한 데이터 수집 계획 출력 값을 이용할 때 지원되는 인터페이스 형태로 정의된다

本仕様は，半導体パワー用デバイス／IC製造用のシリコン・オン・インシュレーター（SOI）ウェーハに関する要求条件を規定している。試験方法と受入基準を定義することによって，ユーザとサプライヤの両者は製品の特性と品質に関する要求条件を明確にすることができる。

本スタンダードは，Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww

SEMI C27 — Specifications and Guidelines for Hydrochloric Acid

SEMI E82-1104 (technical revision)

E08300 - SEMI E83 - Specification for PGV Mechanical Docking Flange Revision:SEMI E83-1106 - Superseded 데이터 수집 계획의 결과로 생성된NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Specification is intended to promote consistent interface features between person guided vehicles (PGV) and equipment with a load port. This Specification defines a mechanical standard for the stationary (equipment)