C09900 - SEMI C99 - Test Method for Determining Conductivity of Chemical Mechanical Planarization (CMP) Slurries and Related Chemicals StdPbc-0309 SEMI D31-1102 (first published)

SEMI D31-1102 (first published)

Each tool should be supplied in a ‘facility ready’ state

メンテナンスあるいはサービスに必要なあらゆる装置が含まれる。

本スタンダードの目的は，ウェーハマウンティングプロセスとダイボンディングプロセスの間で使用する450mmウェーハ用テープフレームカセットのメカニカルな形状を標準化することである。

· セラミックベース上のはんだガラス中に取り付けられたリードフレームと，同様のガラス封止層を持つキャップ

C09900 - SEMI C99 - Test Method for Determining Conductivity of Chemical Mechanical Planarization (CMP) Slurries and Related Chemicals StdPbc-0309 SEMI D31-1102 (first published)This Test Method provides a standardized test method for measuring and reporting the conductivity of slurries and post chemical mechanical polish (CMP) chemicals. This Test Method defines the number of significant digits to which conductivity will be reported, given the limitations of current metrology and methodology capabilities, and define a standardized temperature for the measurement. This Test Method also supplies a method of calibrating