M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法 StdPbc-0118 管サンプルは有用な結果を得るには相当長く（3～4メートルで）なければならない。しかし，それらを実際にテスト作業台に載せるためU字形に曲げることができる。曲率半径は管の内径の6倍以上とする必要がある。また曲げる個所はできるだけ少なくするべきである。現在，超高純度部品は大多数が金属ガスケットコネクタを付けて供給される。したがって，使用されるテスト作業台はこれに合うコネクタを備えているべきである。この種の継手は通常，管に溶接されているがこれは推奨できない。実験結果にバラツキを生じそれが管理できないからである。その代わりとして，管の圧縮継手または適切なアダプタを使用すべきである。圧縮継手は最初に接続してから一連のテストが終わるまで外すべきではない。こうすれば，接続が完全に維持できる。ガスケットを圧縮継手に接続するアダプタは同じ種類のアダプタを使用して，全ての管サンプルをテストすべきである。

管サンプルは有用な結果を得るには相当長く（3～4メートルで）なければならない。しかし，それらを実際にテスト作業台に載せるためU字形に曲げることができる。曲率半径は管の内径の6倍以上とする必要がある。また曲げる個所はできるだけ少なくするべきである。現在，超高純度部品は大多数が金属ガスケットコネクタを付けて供給される。したがって，使用されるテスト作業台はこれに合うコネクタを備えているべきである。この種の継手は通常，管に溶接されているがこれは推奨できない。実験結果にバラツキを生じそれが管理できないからである。その代わりとして，管の圧縮継手または適切なアダプタを使用すべきである。圧縮継手は最初に接続してから一連のテストが終わるまで外すべきではない。こうすれば，接続が完全に維持できる。ガスケットを圧縮継手に接続するアダプタは同じ種類のアダプタを使用して，全ての管サンプルをテストすべきである。

Test Method A — Hot-Probe Thermal EMF Conductivity-Type Test

This is because the chip thermal time constant is generally several orders of magnitude shorter than that of the package

internal reticle movement

EtherNet/IP allows intelligent devices to exchange time-critical application information

M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法 StdPbc-0118 管サンプルは有用な結果を得るには相当長く（3～4メートルで）なければならない。しかし，それらを実際にテスト作業台に載せるためU字形に曲げることができる。曲率半径は管の内径の6倍以上とする必要がある。また曲げる個所はできるだけ少なくするべきである。現在，超高純度部品は大多数が金属ガスケットコネクタを付けて供給される。したがって，使用されるテスト作業台はこれに合うコネクタを備えているべきである。この種の継手は通常，管に溶接されているがこれは推奨できない。実験結果にバラツキを生じそれが管理できないからである。その代わりとして，管の圧縮継手または適切なアダプタを使用すべきである。圧縮継手は最初に接続してから一連のテストが終わるまで外すべきではない。こうすれば，接続が完全に維持できる。ガスケットを圧縮継手に接続するアダプタは同じ種類のアダプタを使用して，全ての管サンプルをテストすべきである。global Silicon Wafer Committee20081119global Audits and Reviews Subcommittee20092www. semi. org20093CD ROM200811 SEMI M1 Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specification for Polished Single Crystal Silicon Wafers SEMI M20 Practice for Establishing a Wafer Coordinate System SEMI M59 Terminology for Silicon Technology