F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計（APIMS）の較正のためのテスト方法 Revision:SEMI F33-0708 - Inactive 本文書は，自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り，その役割を果たし易くするスタンダードを定義するものである。また，製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている。具体的には，以下の内容を提供する。

本文書は，自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り，その役割を果たし易くするスタンダードを定義するものである。また，製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている。具体的には，以下の内容を提供する。

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F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計（APIMS）の較正のためのテスト方法 Revision:SEMI F33-0708 - Inactive 本文書は，自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り，その役割を果たし易くするスタンダードを定義するものである。また，製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている。具体的には，以下の内容を提供する。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Gases Committee2008513global Audits and Reviews Subcommittee20086www. semi. org NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive