E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス StdPbc-0824 such as LCD and digital

such as LCD and digital light processing (DLP)

本基準適用於連接至使用者設施排氣通風系統之可排氣通風的半導體製造設備。

This Specification defines the dimensions of container and requirements for securing the interface between container and processing equipment or wafer transportation equipment

SEMI M80 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 450 mm Wafers

本スタンダードは同期および非同期メッセージのメッセージヘッダ，あるいは「エンベロープ」情報の作成に必要なXMLによる構造を規定する。本件はSEMIスタンダードに準拠するアプリケーションで，非同期メッセージ通信を使うものにのみ適用する。XMLはタグを使って情報を伝文化する様なソフトウエアアプリケーションに使われるが，そのタグはXMLスキーマで指定される構造とデータ型を与えてくれるものである。XMLはアプリケーション間で配送したり，経路の指定に必要な情報を構造化する用途としても使われる。個々に開発して多数の互換性のないXML用のプロトコルになってしまうのを避けるためにメッセージヘッダの標準化が必要である。本仕様を「XMLメッセージ通信に関する仕様」と呼ぶこととする。

E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス StdPbc-0824 such as LCD and digitalSECSHSMS HSMSSEME4SECS IHSMSHSMSSEMIE4 SECS I HSMSOSITCP IPSEMI E13 SECS HSMS Subordinate Standards: SEMI E37. 1 0702 (Reapproved 0413) High Speed SECS Message Services Single Selected Session Mode (HSMS SS) SEMI E37. 2 95 (Withdrawn 1109) High Speed SECS Message Services General Session (HSMS GS) Referenced SEMI StandardsSEMI E4 Specification for SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS I) SEMI E5 Specification for SEMI